В. В. Елисеев, М. Ю. Малыгин, М. И. Новопольцев, В. А. Юдин
ИССЛЕДОВАНИЯ СВОЙСТВ МНОГОСЛОЙНОЙ
МЕТАЛЛИЗАЦИИ СТРУКТУР «КРЕМНИЙ НА МОЛИБДЕНЕ»,
ПОЛУЧЕННОЙ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ1
Аннотация. <...> Межэлементные соединения современных
силовых полупроводниковых приборов должны обладать в широком диапазоне рабочих температур минимальными электрическими и тепловыми сопротивлениями, индуктивностью и высокой механической прочностью. <...> Важную
роль в технологии таких соединений играют металлические слои, нанесенные
составные части силовых полупроводниковых приборов: кремниевые структуры и молибденовые термокомпенсаторы. <...> Целью данной работы является исследование свойств
многослойной металлизации поверхностей межэлементных соединений и молибденовых термокомпенсаторов, используемых в структуре «кремний на молибдене» с низкотемпературными соединениями мощных силовых полупроводниковых приборов нового поколения. <...> Исследовано
несколько вариантов многослойной металлизации, нанесенной магнетронным
напылением на шлифованные поверхности межэлементных соединений и молибденовых термокомпенсаторов: Al-Ti-Ni-Ag, Ti-Ni-Ag, Ni-Ag и Ag. <...> Для измерения адгезионной прочности многослойной металлизации использовался
метод измерительного царапания (скретч-тестирования). <...> Элементный состав
слоев металлизации определялся на растровом электронном микроскопе
Quanta 200i 3D FEI с использованием возможностей функции картирования. <...> Установлено, что значения массовой доли основного элемента в
слоях многослойной металлизации кремниевых структур находятся в интервале от 97 до 99 %, а в слоях многослойной металлизации молибденовых термокомпенсаторов – от 97 до 98 %. <...> Исследована зависимость адгезионной прочности покрытий от вида многослойной металлизации кремниевых структур и
молибденовых термокомпенсаторов, суммарной толщины ее слоев и вида
термообработки. <...> Установлено, что максимальную адгезионную прочность на
поверхности <...>