www.mashizdat.ru ИССЛЕДОВАНИЯ УДК 621.793 РАСЧЕТ СКОРОСТИ НАПЫЛЕНИЯ В ТОЧКАХ ПОДЛОЖКИ ПРИ ЕЕ ПЛАНЕТАРНОМ ПЕРЕМЕЩЕНИИ НА УСТАНОВКАХ СО СДВОЕННЫМИ МАГНЕТРОНАМИ Шишлов А.В., аспирант МГТУ им. <...> Н.Э. Баумана Предложена математическая модель для расчета скорости роста толщины тонкопленочного покрытия в различных точках плоской поверхности подложки. <...> Получены математические зависимости, позволяющие для каждой рассматриваемой точки напыляемой поверхности в процессе планетарного движения подложки определять текущие значения геометрических параметров напыления. <...> Эти зависимости позволяют рассчитывать ожидаемую неравномерность получаемого тонкопленочного покрытия. <...> Ключевые слова: Ионно-плазменное напыление, магнетронное распыление, тонкопленочное покрытие, толщина, неравномерность, планетарный механизм, скорость напыления CALCULATION OF THE RATE OF DEPOSITION AT SUBSTRATE’S POINTS DURING ITS PLANETARY MOVEMENT ON DUAL MAGNETRON SYSTEMS A.V.Shishlov, post-graduate, BMSTU, Moscow H.R.Sagatelyan, professor, BMSTU, Moscow The mathematical model to calculate the rate of thickness growing of thin film coatings at various points on the flat surface of substrate is offered. <...> Keywords: Sputter deposition, magnetron sputtering, thin-film coating, thickness, unevenness, planetary gearing, evaporation rate Введение При создании тонкопленочных покрытий методами напыления в вакууме возникает неравномерность их толщины в различных точках на напыляемой поверхности подложки. <...> Соответствующими конструктивными элементами являются, например, обкладки емкостного датчика угла из золота на изготовленных из плавленого кварца пластинах подвеТЕХНИКА МАШИНОСТРОЕНИЯ. <...> Том 21 ¹ 4 (92) 2014 сах маятниковых акселерометров, нагревательные элементы и стабилизаторы температуры гироприборов, выполненные в виде электрорезистивного слоя, напыл¸нного на полиимидную подложку. <...> Кроме того, двухкомпонентное тонкопленочное покрытие титаналюминий может использоваться в качестве материала маски при плазмохимическом травлении с целью формирования выступов и впадин на кварцевой пластине акселерометра новой конструкции [1 - 3]. <...> Указанные функциональные <...>