Индукционно- термическое вакуумное распыление кольцевых мишеней из молибдена на алюмооксидные подложки (300,00 руб.)

Первый автор	Кошуро
Авторы	Фомина М.А., Фомин А.А.
Страниц	10

ID	941864
Аннотация	Изучены тепловые процессы при индукционно- термическом вакуумном распылении ( ИТВР) кольцевых молибденовых мишеней. Определено влияние рабочего тока и длительности процесса на толщину на структуру молибденовых слоев, напыляемых на алюмооксидные пластины. Предложенная численная модель процесса ИТВР для системы «индуктор – кольцевая мишень – образец» позволила установить характер распределения температурного поля в распыляемой мишени в зависимости от тока индуктора в диапазоне от 1000 до 2500 A и продолжительности компьютерного эксперимента до 600 с. Установлено, что использование указанных режимов позволяет нагревать молибденовые мишени до температуры распыления, равной 1860…2320 °C. В экспериментальных исследованиях термическое распыление кольцевой мишени проведено с помощью установки индукционного нагрева, специальной оснастки, двухвиткового медного индуктора при давлении в рабочей камере 0, 6…3, 5 Торр, рабочей частоте f ≈ 45 кГц и рабочем токе IO = 1000…1330 A. Длительность процесса составила 300…1200 с. Показано, что продолжительность выдержки и рабочий ток прямо пропорционально влияют на толщину покрытий, при этом рост рабочего тока оказывает более интенсивное воздействие. Минимальные по толщине ( h = 2, 3±0, 3 мкм) молибденовые слои формируются при значениях рабочего тока IO = 1100 A и выдержки t = 300 с. Максимум толщины молибденового покрытия равен около 22±4 мкм при токе 1300 A и выдержке 1200 с. Полученные результаты расширяют представления о термическом распылении тугоплавких металлов и могут быть использованы при разработке методов нанесения молибденовых слоев, в том числе на керамические изделия различного назначения.

Кошуро, В.А. Индукционно- термическое вакуумное распыление кольцевых мишеней из молибдена на алюмооксидные подложки / В.А. Кошуро, М.А. Фомина, А.А. Фомин // Вестник Московского энергетического института .— 2025 .— №5 .— С. 31-40 .— URL: https://rucont.ru/efd/941864 (дата обращения: 12.10.2025)