НЕРАЗРУШАЮЩАЯ МЕТОДИКА ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ВНУТРЕННИХ ДЕФЕКТОВ В КРЕМНИЕВЫХ МИШЕНЯХ ВИДИКОНОВ (726,00 руб.)

Первый автор	Давыдов
Авторы	Соколова А.А., Андреева В.Д., Котов С.А., Ганин С.В., Ким А.Э.
Страниц	14

ID	950054
Аннотация	Обоснована необходимость разработки новых методик для неразрушающего контроля структуры кремниевых мишеней и выявления в них внутренних дефектов. Установлено, что ряд внутренних дефектов используемыми методами контроля мишеней не идентифицируются ( эти дефекты проявляются только при эксплуатации видикона) . Для мишеней проведено исследование структуры подложки и сформированной топологии, а также поверхности фоточувствительных элементов с использованием рентгеновской дифрактометрии и разработанного оптического микроскопа с формированием дифракционного изображения. Установлена деформация подложки, что привело к формированию механических напряжений с увеличением концентрации центров генерации носителей заряда. Обнаружено существенное нарушение ориентации ( 111) в структуре Si- подложки мишени. Получен новый результат, объясняющий формирование белой засветки на регистрируемых изображениях при проверке видикона, и установлены две причины формирования внутреннего дефекта в мишени, которые привели к ее появлению. Таковыми являются: неравномерное воздействие по краям мишени при запрессовке ее на индиевое кольцо и неравномерное нанесение слоев при изготовлении ее структуры. Разработана новая неразрушающая методика контроля кремниевых мишеней для выявления данного внутреннего дефекта и других дефектов в процессе их изготовления до установки в видикон. Предложен ряд мер по устранению данных дефектов при реализации технологического процесса.

НЕРАЗРУШАЮЩАЯ МЕТОДИКА ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ВНУТРЕННИХ ДЕФЕКТОВ В КРЕМНИЕВЫХ МИШЕНЯХ ВИДИКОНОВ / В.В. Давыдов [и др.] // Дефектоскопия .— 2026 .— №1 .— С. 49-62 .— URL: https://rucont.ru/efd/950054 (дата обращения: 21.03.2026)